ЭПИ И MOCVD

Графитовые компоненты и изоляционные материалы SIAMC широко используются в эпитаксиальном полупроводниковом оборудовании благодаря своим превосходным термическим и механическим свойствам.В процессах эпитаксиального роста графит высокой чистоты используется для изготовления компонентов реактора с горячей стенкой, таких как нагреватель, токоприемник, газовый инжектор и газораспределительная пластина.Низкое содержание примесей в графитовой продукции SIAMC обеспечивает высокую чистоту процесса и снижает образование частиц во время высокотемпературной обработки.

Кроме того, изоляционные материалы SIAMC используются для изоляции и сохранения тепла в эпитаксиальном оборудовании для поддержания высокой температуры процесса и снижения теплопотерь.Эти материалы обладают отличными теплоизоляционными свойствами и устойчивостью к высоким температурам, обеспечивая стабильную и эффективную работу оборудования.

В целом, графитовые компоненты и изоляционные материалы SIAMC играют решающую роль в обеспечении качества и производительности процессов эпитаксиального выращивания, что делает их незаменимыми для производства полупроводников.