Ионная имплантация и плазменное травление

Графитовые изделия SIAMC широко используются в оборудовании для ионной имплантации и плазменного травления благодаря их превосходной термостойкости, теплопроводности, низкому содержанию примесей и устойчивости к коррозии ионными лучами.

При ионной имплантации графит высокой чистоты используется в пролетных трубках, различных щелях, электродах, крышках электродов, каналах и ограничителях пучка.Эти компоненты должны быть устойчивы к коррозии, вызванной ионными лучами.

При плазменном травлении компоненты камеры плазменной реакции подвергаются воздействию травильного газа, что может вызвать загрязнение и коррозию.Однако графит устойчив к коррозии в экстремальных рабочих условиях, таких как ионная бомбардировка или плазма, что делает его идеальным материалом для компонентов оборудования для плазменного травления, таких как графитовые электроды.

Высококачественная графитовая продукция SIAMC обеспечивает превосходную производительность и надежность оборудования для ионной имплантации и плазменного травления, гарантируя качество и эффективность обработки полупроводников.